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目前废气处理设备对低温等离子体的作用机理研究以为是粒子非弹性碰撞的结果。一方面打开了气体分子键，天生一些单分子和固体微粒；另一力方面OH、H2O2．等自由基和氧化性较强的O3，在这一过程中电子起决定性作用，离子的热运动只有影响。光催化氧化可在室温下将水、空气和泥土中有机污染物氧化成没有影响的产物，而传统的高温焚烧技术则需要在较高的温度下才可将污染物摧毁，即使用常规的催化、氧化方法亦需要几百度的高温。
合用范围：水溶性、有组织排放源的恶臭气体。优点：工艺简朴，治理利便，设备运转用度低产生二次污染，需对洗涤液进行处理。缺点：受到曝气强度的限制，该法的应用还有局限。

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